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MEMS的未来十年属于执行器

更新时间:2015-11-05

【摘要】过去几年,微机电系统(MicroElectro MechanicalSystem,MEMS)备受关注,但是大多数集中于MEMS传感器应用,在可以预见的未来十年内,MEMS执行器即将大放异彩.

【关键词】

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