【摘要】过去几年,微机电系统(MicroElectro MechanicalSystem,MEMS)备受关注,但是大多数集中于MEMS传感器应用,在可以预见的未来十年内,MEMS执行器即将大放异彩.
【关键词】
《文学与文化》 2015-11-05
《宁波职业技术学院学报》 2015-11-05
《单片机与嵌入式系统应用》 2015-11-05
《新农业》 2015-11-05
《云南社会主义学院学报》 2015-11-09
《统计与管理》 2015-11-06
《云南社会主义学院学报》 2015-11-09
《单片机与嵌入式系统应用》 2015-11-06
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